9μm截止波长128×128AlGaAs／GaAs量子阱红外焦平面探测器阵列

报道了128×128AlGaAs／GaAs量子阱红外焦平面探测器阵列的设计和制作．采用金属有机化学气相淀积外延技术生长外延材料，并在GaAs集成电路工艺线上完成工艺制作，为得到器件参数，设计制作了台面尺寸为300μm×300μm的大面积测试器件；77K下2V偏压时暗电流密度为1．5×10^-3A／cm^2；80K工作温度下，器件峰值响应波长为8．4μm，截止波长为9μm，黑体探测率DB＊为3．95×10^8（cm·Hz^1/2）／W．将128×128元AlGaAs／GaAs量子阱红外焦平面探测器阵列芯片与相关CMOS读出电路芯片倒装焊互连，在80K工作温度下实现了室温环境目标的红外热成像，盲元率小于1％.