エレクトロルミネッセンス装置、その製造装置、及びその製造方法

有機ＥＬ素子（エレクトロルミネッセンス素子）（４）を具備した有機ＥＬ表示装置（エレクトロルミネッセンス装置）（１）において、有機ＥＬ素子（４）を覆う第１の封止膜（１４ａ）と、第１の封止膜（１４ａ）上に設けられた第２の封止膜（１４ｂ）と、第１及び第２の封止膜（１４ａ）及び（１４ｂ）を覆う第３の封止膜（１４ｃ）を設ける。