プラズマ処理装置又はプラズマ処理システムの性能評価方法、保守方法、性能管理システム、及び性能確認システム、並びにプラズマ処理装置

(57)【要約】 【課題】 プラズマ処理装置を分解、搬送後再組み立て した後において、所望の性能が維持されているかどうか を簡便かつ迅速に評価できるようにする。 【解決手段】 プラズマを励起するための電極４を有す るプラズマ処理室６０と、この電極４に接続された高周 波電源１と、プラズマ処理室６０と高周波電源１とのイ ンピーダンス整合を得るための整合回路２とを具備し、 プラズマ処理室６０の高周波電源１の接続された電極４ と直流的にアースされた各接地電位部との間の容量Ｃ X の納入後における値Ｃ x1 の値が、電極４と対となり協働 してプラズマを発生する電極８との間のプラズマ電極容 量Ｃ e の２６倍より小さい値かどうかにより、性能を評 価する。