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Acemap > Paper > AlCl 3 酸溶液中でのXeFエキシマレーザ照射による不動態皮膜を用いた4H-SiCへの無損傷Alドーピング

AlCl 3 酸溶液中でのXeFエキシマレーザ照射による不動態皮膜を用いた4H-SiCへの無損傷Alドーピング

2017 
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