MEMS-Mikrofon, ein MEMS-Mikrofon umfassendes Bauelement und Verfahren zur Herstellung des MEMS-Mikrofons

Es wird ein MEMS-Mikrofon vorgeschlagen, bei dem ein MEMS-Chip auf einem Trager angeordnet und mit einer Abdeckung so gegen den Trager abgedichtet ist, dass unter der Abdichtung ein Hohlraum eingeschlossen ist. Eine erste Schalleintrittsoffnung offnet ein erstes Teilvolumen unterhalb der Abdeckung. Rund um die erste Schalleintrittsoffnung herum ist auf der Abdeckung eine Dichtstruktur vorgebildet. Mit dieser Dichtstruktur kann das MEMS-Mikrofon so in dem Gehause eines elektrischen Gerats montiert werden, dass die Dichtstruktur die erste und zweite Schalleintrittsoffnung gegen das Gehauseinnere des elektrischen Bauelements abdichtet.