Actionneur piezo-electrique en forme de peigne et son procede de fabrication
2002
L'invention porte sur un procede de fabrication simple d'un actionneur piezo-electrique en forme de peigne presentant une petite separation intermediaire meme si le peigne a une largeur de fente de 70 µm au maximum ou des fentes tridimensionnelles. Le procede consiste a preparer un nombre predetermine de feuilles vertes (1) de materiau piezo-electrique ayant des films d'electrode (1). La premiere feuille verte (1a) est fendue avec un poincon (7) et une matrice (8) entoures d'un extracteur (9). La feuille verte (1a) en materiau piezo-electrique est entrainee vers le haut par l'extracteur (9), le poincon (7) connaissant le meme sort. La seconde feuille verte (1b) en materiau piezo-electrique est egalement fendue par le poincon (7). Comme dans le premier cas precite, ces deux feuilles vertes (1a, 1b) piezo-electriques sont entrainees vers le haut par l'extracteur (9) et sont empilees en fonction de la perforation. Apres que l'operation a ete reiteree un certain nombre de fois, les feuilles vertes sont transformees par chauffage en un corps, ce qui nous permet d'obtenir un actionneur piezo-electrique en forme de peigne ayant une pile de films piezo-electriques.
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