Halbleiterbauelement mit fensteroeffnung als schnittstelle zur umgebungs-ankopplung

Eine Fensteroffnung in einem Halbleiterbauelement wird auf der Grundlage einer Gatestruktur hergestellt, die als effiziente Atzstoppschicht dient, um einen Isolationsschichtstapel zuverlassig zu atzen, ohne das photoempfindliche Halbleitergebiet freizulegen. Das Polysilizium der Gatestruktur wird sodann auf der Grundlage eines etablierten Gate-Atzprozesses abgetragen, wobei die Gateisolationsschicht die Integritat des photoempfindlichen Halbleitermaterials bewahrt.