Cuve megasonique de nettoyage en continu a transducteurs a cycle de travail reduit

Cette invention a trait a une cuve sonique (11) de nettoyage de substrats (19) par ultrasons. Cette cuve possede deux parois (13) inclinees vers le haut, sinon plusieurs. Des ensembles d'un ou de plusieurs transducteurs (15, 17) sont places le long des deux parois inclinees au moins ou le long de deux parois de la pluralite des parois. Ces ensembles de transducteurs (15, 17), qui sont excites alternativement, assurent un nettoyage a pres de 100 % de la surface du substrat a tout moment mais n'assurent qu'un cycle de travail a 50 % (ou moins) pour chaque ensemble. Les supports de substrat (21a-c) sont disposes de telle sorte que presque tous les points de la surface du substrat sont soumis aux effets de l'energie emanant d'au moins un transducteur. Les transducteurs des parois opposees sont positionnes de maniere a eviter des interferences de reflexion.