The method of cleaning a plasma processing apparatus
2013
一种等离子体处理装置的清洁方法,其中,所述等离子体处理装置包括一腔室,基片放置于腔室之中进行制程,其中,所述清洁方法包括如下步骤:a.在基片制程之后,在腔室表面沉积不含氟的聚合物层;b.往腔室中通入清洁气体,并连接射频能量产生等离子体,以对腔室内部进行清洁。 本发明提供了一种安全可靠有效的等离子体腔室清洁方法,并且能够提高静电夹盘寿命,节省成本。
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