真空技術と地球環境 蒸着重合法によるポリイミド厚膜形成とその応用;真空技術と地球環境 蒸着重合法によるポリイミド厚膜形成とその応用;Vacuum Technology for a Better Global Environment. Polyimide Thick Films Prepared by Vapor Deposition Polymerization and Their Applications.