Bauelement mit einer Nutzstruktur und einer Hilfsstruktur

Bauelement mit folgenden Merkmalen: einer Mehrzahl von voneinander getrennten Nutzstrukturen (814), die auf einem Substrat (800) angeordnet sind und je eine Nutzstruktur-Seitenflanke (818) aufweisen; wobei die Mehrzahl der Nutzstrukturen uber einen Nutzstrukturabstand zwischen den Nutzstruktur-Seitenflanken zueinander benachbart angeordnet sind; und einer Hilfsstruktur (100) mit einer Hilfsstruktur-Seitenflanke (102), die die Mehrzahl von Nutzstrukturen umgibt und die benachbart zu der Mehrzahl von Nutzstrukturen (814) auf dem Substrat (800) angeordnet ist, wobei die Nutzstruktur-Seitenflanke (818) der Hilfsstruktur-Seitenflanke (102) durch einen Abstand getrennt gegenuberliegt, wobei der Hilfsstruktur-Nutzstruktur-Abstand derart dimensioniert ist, dass sich eine Form der Nutzstruktur-Seitenflanke (818) oder eine Form des Substrats neben der Nutzstruktur-Seitenflanke (818) von einer Form bei demselben Bauelement unterscheidet, bei dem die Hilfsstruktur (100) bei einer Strukturierung der Nutzstruktur nicht vorhanden ist, und wobei der Hilfsstruktur-Nutzstruktur-Abstand zwischen der Nutzstruktur-Seitenflanke (818) und der Hilfsstruktur-Seitenflanke (102) innerhalb eines vorbestimmten Toleranzbereichs dem Nutzstrukturabstand entspricht.