CARACTERIZAÇÃO DE CÂMARA PARA PÓS-DESCARGA DE CÁTODO ÔCO À BAIXA PRESSÃO

Muitas aplicacoes de plasma exigem que a descarga seja produzida distante da superficie a ser processada, evitando assim danos causados pelo bombardeamento e/ou radiacao do plasma. Nesse regime de pos-descarga varias aplicacoes em materiais termicamente sensiveis como tecidos vivos e polimeros podem ser utilizadas. O conhecimento das caracteristicas da descarga eletrica (especies opticamente ativas e composicao quimica do plasma) e essencial para eficiencia e controle do tratamento. Este trabalho e dedicado a caracterizacao da pos-descarga DC produzida em catodo oco cilindrico de titânio usando simultaneamente a espectroscopia de emissao optica e um espectrometro de massa quadrupolar. Os parâmetros de corrente eletrica, pressao na câmara e fluxo de argonio na descarga Ar/N 2 sao mantidos constantes em 0,4 A; 0,045 Pa e 6 sccm, respectivamente. A evolucao das especies ativas do plasma foi analisada por espectroscopia de emissao optica e espectrometria de massa quadrupolar, simultaneamente, quando se variou o fluxo de nitrogenio entre 1 e 6 sccm. Foi observado que adicao de nitrogenio produziu uma queda linear na intensidade de emissao optica dos picos de argonio e aumento linear da intensidade dos picos do primeiro e segundo sistema positivo de N 2 . As principais especies ionicas encontradas por espectrometria de massa quadrupolar foram de Ar + e N 2 + . Foi possivel correlacionar os resultados obtidos por espectroscopia de emissao otica e espectrometria de massa. A razao das intensidades de emissao otica de N 2 (1 +) mostrou-se diretamente proporcional a pressao parcial de N 2 na pos-descarga de catodo oco.