Infrared gas sensor is a multi-gas detection

本发明公开了一种多气体检测的红外气体传感器，将红外辐射源与多个热电堆传感器采用标准CMOS／MEMS工艺制备于同一个芯片，各芯片间通过热隔离墙、隔热沟道和真空晶圆级对准封装的方式，实现对共面传感器之间的热串扰的降低。 采用单片集成工艺方法，对多传感器进行同时加工，采用不同窄波段滤波片分别组装于共面排布的多个传感器，实现对不同气体进行分光检测，在大大降低加工成本的同时，降低了热串扰和功耗，并且进一步提高了检测精度。