超低摩擦WS_2/W-DLC固体润滑薄膜的制备与性能

利用离子束辅助沉积技术和低温离子渗硫技术制备了二硫化钨/钨掺杂类金刚石（WS2/W-DLC）复合薄膜。采用扫描电子显微镜（SEM）、拉曼光谱仪（Raman）、透射电子显微镜（TEM）、纳米硬度仪（Nano-indenter）和多功能摩擦磨损试验机（UMT）考察了薄膜的微观结构与摩擦学性能。结果表明：制备的薄膜在大气环境下表现出优异的力学性能和超低摩擦的性能,该复合薄膜中,硬质强化相纳米碳化物WC1-x和软质润滑相过渡族金属硫化物WS2、Fe S均匀镶嵌于类金刚石基体内形成复合结构,复合结构是薄膜表现出优异性能的主要原因。