A process for producing a strained layer on a substrate and layered structure

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung einer Schichtstruktur, umfassend eine verspannte Schicht auf einem Substrat mit den Schritten: - Erzeugung eines Defektbereichs in einem zu der zu verspannenden Schicht benachbarten Schicht - Relaxation mindestens eine zu der verspannenden Schicht benachbarten Schicht. Der Defektbereich wird insbesondere im Substrat erzeugt. Es konnen epitaktisch weitere Schichten angeordnet werden. Derartig gebildete Schichtstrukturen sind vorteilhaft geeignet fur verschiedenartigste Bauelemente.