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第三電極を有するマグネトロンスパッタ法によるAlドープZnO膜の低抵抗化(薄膜プロセス・材料,一般)
第三電極を有するマグネトロンスパッタ法によるAlドープZnO膜の低抵抗化(薄膜プロセス・材料,一般)
2008
jou oosima
yuuitirou makino
hirosi nori katagiri
kazuo sinbo
yuuitirou kuroki
kanzi yasui
masa suke takada
masasi akabane
Keywords:
Applied mathematics
Combinatorics
Computer science
Algebra
Discrete mathematics
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