단결정 잉곳 성장장치 및 그 성장방법

본 발명은 단결정 잉곳의 넥(neck) 공정과 숄더링(shouldering) 공정 중에 melt vibration을 억제하는 동시에 열 응력을 감소시킬 수 있는 단결정 잉곳 성장장치 및 그 성장방법에 에 관한 것이다. 본 발명에 따른 단결정 잉곳 성장장치 및 그 성장방법은 단결정 잉곳의 넥과 숄더가 성장되는 동안 실리콘 융액에 상자장의 세기가 하자장의 세기보다 큰 역 비대칭형 자기장을 인가함으로써, melt vibration을 억제하여 공정의 안전성을 높일 수 있고, 열 응력을 저감시켜 품질 및 생산성을 향상시킬 수 있는 이점이 있다.