感光性樹脂組成物、物品、及びネガ型パターン形成方法

【課題】高感度で、高分子前駆体の種類を問わず大きな溶解性コントラストを得られ、結果的に、十分なプロセスマージンを保ちつつ、形状が良好なパターンを得ることができる感光性樹脂組成物を提供する。 【解決手段】下記式（１）で表わされるカルボン酸とアミンとの塩、及び高分子前駆体を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物である。 （式中、Ｘ １ 、Ｘ ２ は独立に酸素原子もしくは硫黄原子を示す。Ｒ １ 〜Ｒ ９ は独立に水素原子、ハロゲン原子、ヒドロキシル基、メルカプト基、ニトロ基、シリル基、シラノール基、もしくは１価の有機基を示す。Ｒ １０ 、Ｒ １１ 、Ｒ １２ は水素原子、もしくは１価の有機基を示す。但し、Ｒ １０ 、Ｒ １１ 、Ｒ １２ の少なくとも１つは、１価の有機基である。） 【選択図】なし