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Strukturierung dünner Schichten für die Mikroelektronik in reaktiven Plasmen
Strukturierung dünner Schichten für die Mikroelektronik in reaktiven Plasmen
1984
A. Bertz
S. Frisch
W. Leyffer
Keywords:
Nanotechnology
Thin film
Reactive-ion etching
Plasma etching
Materials science
Inorganic chemistry
semiconductor materials
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