基板返送ユニット、及び基板移送方法、そして前記ユニットを有する基板処理装置、及び前記ユニットを利用した基板処理方法

【課題】上下に離隔して基板が在置される第１支持板と側方向に並んで基板が在置される第２支持板との間で２つの基板を同時に移送するユニットを提供する。 【解決手段】返送ユニット３０は、上下に対向する折り畳まれた状態と折り畳まれた状態から相互に反対方向に既定の角度回転された広げた状態に転換可能な上部ブレードと下部ブレードを有し、折り畳まれた状態で第１支持板に基板を置いたり取り出したりし、広げた状態で第２支持板に基板を在置したり取出したりする。各上部ブレード、下部ブレードは、両端に各々基板が在置される第１支持部と第２支持部を備え、第１支持部と第２支持部のうち何れか１つに第２支持板に入れる基板が在置された状態で他の１つの支持部が第２支持板に在置された基板を取り出すことができ、又他の１つの支持部に第２支持板から取り出した基板が在置された状態で１つの支持部に在置された基板が第２支持板に在置することができる。 【選択図】図３