ゾルーゲル法による強誘電体膜の形成方法、キャパシタの製造方法、その原料溶液の調製方法及びその原料溶液

(57)【要約】 【構成】 ゾルーゲル法によってチタン酸ジルコン酸鉛 からなる強誘電体膜を形成するに際し、(a) 脂肪酸鉛を 得る工程と、(b) チタニウム・アルコキシドを得る工程 と、(c) このチタニウム・アルコキシドとアルコール残 基が同じであるジルコニウム・アルコキシドを得る工程 と、(d) 前記脂肪酸鉛と前記チタニウム・アルコキシド と前記ジルコニウム・アルコキシドとを混合して、鉛チ タニウム・ダブルアルコキシドと鉛ジルコニウム・ダブ ルアルコキシドとを生成させる工程とをそれぞれ行う強 誘電体膜の形成方法。 【効果】 各ダブルアルコキシドの加水分解及び縮合反 応が均一に進行し、このゾルーゲル溶液から成膜された ＰＺＴ薄膜は平滑な表面を呈し、残留分極が大きく、漏 れ電流も小さい等、電気特性が十分となり、要求される 性能を満足することができる。