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RF 마그네트론 스퍼터의 자기장 분포 변화에 의한 ITO 박막의 전기적 특성에 관한 연구
RF 마그네트론 스퍼터의 자기장 분포 변화에 의한 ITO 박막의 전기적 특성에 관한 연구
2012
김현수
김일영
민상홍
박대선
변상두
김창교
Keywords:
Telecommunications
Electrical engineering
Geography
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