Effet de la longueur d'onde sur l'ablation laser de la céramique BN. Application à l'élaboration de films minces

L'ablation laser de cibles de nitrure de bore BN provoque, quelle que soit la longueur d'onde d'irradiation (532, 266, 248 et 193 nm), l'apparition de deux environnements chimiques du bore : l'un correspondant a BN, l'autre a du bore elementaire. De plus, les caracteristiques morphologiques de la surface ablatee different en fonction de la longueur d'onde. La qualite des films de BN deposes sur silicium depend egalement de la longueur d'onde. Generalement, les films obtenus sont amorphes, deficitaires en azote et presentent les deux environnements chimiques du bore. Mais une ablation laser conduite a 248 nm conduit a des films de bonne qualite topographique, pour lesquels le bore se trouve uniquement dans un seul environnement local correspondant a BN.