It can be imagewise exposed and apparatus for manufacturing a developable silsesquioxane resin
2012
本发明提供了一种可涂覆型树脂溶液,其当涂敷到基底的所述表面时能够形成涂层,所述涂层在暴露于紫外线辐射时能够曝光成像并显影为介电材料。 所述树脂溶液包含倍半硅氧烷基(SSQ基)树脂、至少一种引发剂以及有机溶剂。 所述SSQ基树脂包含氢化物组分以及至少一种可光固化组分。 所述得到的涂层具有小于或等于约3.5的介电常数。
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