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Acemap > Paper > 대칭적인 스위치 구조 기반 RF 플라즈마 시스템 적용 전기적 가변 커패시터

대칭적인 스위치 구조 기반 RF 플라즈마 시스템 적용 전기적 가변 커패시터

2019 
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