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Acemap > Paper > ECRスパッタカーボン薄膜の電気的・機械的特性の基板種別依存性(トライポロジー及び一般)

ECRスパッタカーボン薄膜の電気的・機械的特性の基板種別依存性(トライポロジー及び一般)

2013 
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