Substrat mit stickstoffhaltiger plasmapolymerer Beschichtung, dessen Verwendung und Verfahren zu dessen Herstellung

2009 
Anordnung aus einem elastomeren Substrat und einer darauf angeordneten plasmapolymeren Beschichtung bestehend aus Kohlenstoff, Silizium, Sauerstoff, Stickstoff und Wasserstoff, wobei fur die Stoffmengenverhaltnisse in der plasmapolymeren Beschichtung gemessen mittels ESCA auf der vom Substrat abgewandten Seite gilt: O:Si = 0,45–2,50 N:O = 0,02–0,50 und N:C = 0,01–0,20, bevorzugt O:Si = 0,75–2,50 N:O = 0,03–0,42 und N:C = 0,01–0,20, weiter bevorzugt O:Si = 1,00–2,50 N:O = 0,03–0,40 und N:C = 0,01–0,15 und/oder im Bereich des Stickstoffmaximums innerhalb der plasmapolymeren Beschichtung gemessen mittels ESCA nach einem Materialabtrag durch Sputtern gilt: O:Si = 0,50–3,50 N:O = 0,01–0,40 und N:C = 0,01–0,70, bevorzugt O:Si = 0,75–3,00 N:O = 0,01–0,20 und N:C = 0,015–0,60, weiter bevorzugt O:Si = 1,00–2,80 N:O = 0,01–0,14 und N:C = 0,02–0,50.
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