Electromagnetic interference shielding layer has a function of structure

2011 
一种具有屏蔽电磁干扰功能的层结构,用于降低硅穿孔之间信号传递所造成的EMI效应,能够在三维(3D)集成电路的电性互连之间有效地达到屏蔽电磁干扰的效果,借由在传递信号的硅穿孔之间设置特定的屏蔽硅穿孔,提供有效的屏蔽电磁干扰效果,降低在不同的芯片或基板之间可能因EMI效应所造成的信号失真。
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