Neue verwendung für erdalkalinmetallsalze
2002
Strontiumcarbonat, Bariumcarbonat, Strontiumsulfat und Bariumsulfat in genugender Feinheit, insbesondere wenn synthetisch hergestellt, eignen sich als Schleifmittel beim chemisch-mechanischen Polieren von mikroelektronischen Bauteilen, beispielsweise fur Halbleiter. Die Verbindungen werden zweckmassig als Aufschlammungen eingesetzt, die ein Dispergiermittel enthalten konnen und deren pH-Wert vorteilhaft grosser als 8 ist.
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