Neue verwendung für erdalkalinmetallsalze

Strontiumcarbonat, Bariumcarbonat, Strontiumsulfat und Bariumsulfat in genugender Feinheit, insbesondere wenn synthetisch hergestellt, eignen sich als Schleifmittel beim chemisch-mechanischen Polieren von mikroelektronischen Bauteilen, beispielsweise fur Halbleiter. Die Verbindungen werden zweckmassig als Aufschlammungen eingesetzt, die ein Dispergiermittel enthalten konnen und deren pH-Wert vorteilhaft grosser als 8 ist.