国际半导体技术发展路线图(ITRS)2012版综述(4)
2014
3.15提高成品率 根据2011年版路线图重新划定的章节范围,“提高成品率”一章目前包括“晶圆环境与污染控制”(WECC)和“鉴定、检测和分析”(CIA)两个子章节。因此,提高成品率的活动都集中在这两个方面。
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