Vorrichtung zur Herstellung einer gerichteten Schicht mittels Kathodenzerstäubung und Verwendung derselben

Zur Herstellung einer gerichteten Schicht mit z.B. konstanter ausgezeichneter Richtung, etwa einer weichmagnetischen Schicht mit bevorzugter Magnetisierungsrichtung oder einer Tragerschicht fur eine solche mittels Kathodenzerstaubung auf einer Substratflache (4) wird die Beschichtung so vorgenommen, dass von einer Targetflache (6) stammende Partikel uberwiegend aus Richtungen einfallen, bei denen die Projektion auf die Substratflache (4) in einem die ausgezeichnete Richtung umgebenden bevorzugten Winkelbereich liegt. Dies wird durch Anordnung eines Kollimators (8) mit zur Substratflache (4) normalen, zur ausgezeichneten Richtung parallelen Platten (9) vor der Substratflache (4) erreicht, bei dem die Lange der Platten (9) von der Mitte des Kollimators (8) gegen aussere Rander hin abnimmt.