Vorrichtung mit magnetischer Impedanz, die gleiche verwendende Sensorvorrichtung und Verfahren zum Herstellen der Gleichen

Magnetsensorvorrichtung, die aufweist: ein Halbleitersubstrat (22, 322); eine Vorrichtung (1, 2, 301, 301A, 301B) mit magnetischer Impedanz zum Erfassen eines Magnetfelds; eine Peripherieschaltung (312, 313, 314, 315) zum Verarbeiten eines Ausgangssignals, das aus der Vorrichtung (301, 301A, 301B) mit magnetischer Impedanz ausgegeben wird; eine Verdrahtungsschicht (328), die aus einem Aluminiummaterial besteht; und einen Barrierenmetallfilm (354), der aus einem Titanmaterial besteht,, wobei die Vorrichtung (1, 2, 301, 301A, 301B) mit magnetischer Impedanz auf dem Substrat (22, 322) angeordnet ist und aus einer Ni-Fe-Serien-Legierung besteht; die Verdrahtungsschicht (328) beide Enden der Vorrichtung (301, 301A, 301B) mit magnetischer Impedanz uber den Barrierenmetallfilm (354) verbindet und ein Paar von Enden aufweist, welche auf einem Verbindungsabschnitt zwischen der Verdrahtungsschicht (328) und der Vorrichtung (301, 301A, 301B) mit magnetischer Impedanz angeordnet sind; und die Peripherieschaltung (312, 313, 314, 315) auf dem Substrat (322) angeordnet ist.