ナノインプリント用スタンパ、ナノインプリント用スタンパの製造方法、およびナノインプリント用スタンパの表面処理剤

【課題】本発明の課題は、剥離層をスタンパ表面に簡便に形成することが可能であり、かつ多数回に渡って連続して転写が行われても剥離性の劣化が少ない耐久性に優れたナノインプリント用スタンパを提供することにある。 【解決手段】被転写体に転写する微細パターンが表面に形成されているスタンパ２において、前記表面に含フッ素ポリエーテル１０２が付与されており、前記含フッ素ポリエーテル１０２の両末端のうち少なくとも片末端は前記表面と化学的に結合しているとともに、前記含フッ素ポリエーテル１０２を構成するフルオロポリエーテル鎖は、パーフルオロポリエーテル鎖の主鎖のフッ素原子の一部が水素原子に置換されてなることを特徴とする。 【選択図】図２