Apparatus and method of manufacturing display apparatus
2015
본 발명은 표시 장치의 제조 장치 및 표시 장치의 제조 방법을 개시한다. 본 발명은, 외부로부터 기판이 공급되는 로딩챔버와, 상기 로딩챔버와 연결되며, 로봇암이 설치되어 기판을 이송시키는 트랜스퍼챔버와, 상기 트랜스퍼챔버와 연결되어 상기 트랜스퍼챔버로부터 이송된 상기 기판 상에 증착물질을 증착하는 증착챔버와, 상기 증착챔버에 연결되며, 마스크가 다단으로 적층되고, 상기 증착챔버에 다단으로 적층된 상기 마스크 중 하나를 공급하는 마스크공급챔버와, 상기 마스크공급챔버와 연결되며, 상기 마스크를 상기 마스크공급챔버로 하나씩 공급하는 스테이션을 포함한다.
Keywords:
- Correction
- Source
- Cite
- Save
- Machine Reading By IdeaReader
0
References
0
Citations
NaN
KQI