表面処理方法、表面処理用液状組成物、及び光学デバイス

【課題】品質にバラツキが生じ難く、且つ高速に凹凸加工を施すことができ、量産性及び低コスト化に優れた表面処理方法、及びそれに用いる表面処理用液状組成物、当該表面処理方法により処理された基板を有する光学デバイスを提供する。 【解決手段】被処理物の表面に凹凸を形成するための表面処理方法であって、第１粒子と第１粒子よりもエッチング耐性が低い第２粒子とを有する粒子群及び結着剤を含む表面処理用液状組成物を被処理物２０表面に塗布して粒子層１０を形成する粒子層形成工程と、粒子層が形成された被処理物の表面に対しエッチング処理を施し被処理物の表面に凹凸を形成するエッチング工程と、エッチング工程後に粒子層を除去する除去工程と、を有することを特徴とする表面処理方法。また、当該表面処理方法に用いる表面処理用液状組成物、及び当該表面処理方法により得られる基板を有する光デバイス。 【選択図】図２