Portillon de chargement et son chariot de transfert

1999 
L'invention porte sur un chariot servant au transfert des portillons de chargement d'un appareil de traitement de substrats de semi-conducteurs, et sur un portillon concu pour etre transfere sur le susdit chariot. Ledit portillon, qui recoit un plateau ou sont disposees les tranches de semi-conducteurs en vue de leur traitement dans l'appareil, est concu pour ouvrir et refermer le couvercle du plateau, et muni d'une partie porteuse entrant en contact avec des bras (23) solidaires du chariot. Le corps (30) du chariot qui s'ouvre frontalement pour recevoir le portillon de chargement (11) est muni d'une paire de bras (23) coulissant vers l'avant du chariot et s'engageant dans la partie retentrice du portillon de chargement.
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