Nano sample stage mechanical testing system and method of use

2014 
一种纳米力学测试系统用样品台及其使用方法,属于纳米力学测试实验技术领域。 本发明包括基体和样品支撑架,基体分为磁性样品区及非磁性样品区,磁性样品区内设置有变深度样品区,磁性样品区下面设有磁性金属;非磁性样品区内设有超薄样品放置区,样品支撑架与超薄样品放置区相对应。 在本发明样品台上固定样品时无需胶水粘贴,避免清理胶水时损坏样品台;通过变深度样品区固定高度过高样品时,可以降低样品高度,避免撞针事故;通过样品支撑架固定超薄样品时,利用定位螺钉固定,借助样品支撑架提高样品高度;样品台坐标网格线用于扫描电镜定位样品位置,实现通过原位观察进行原位实验的要求,能够快速准确定位样品,工作效率和实验精度高。
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