Автоматизированная система измерений тепловых потоков для технологических установок с высокоплотной плазмой

Харченко В.Н., Полуэктов Н.П., Усатов И.И., Царьгородцев Ю.П. АВТОМАТИЗИРОВАННАЯ СИСТЕМА ИЗМЕРЕНИЙ ТЕПЛОВЫХ ПОТОКОВ ДЛЯ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ УСТАНОВОК С ВЫСОКОПЛОТНОЙ ПЛАЗМОЙ. Плазменная технология получения наноструктурных пленок с заданными физическими свойствами вызывает необходимость контроля параметров разряда. Микроструктура и свойства пленок зависят от теплового потока на ее поверхность. Приведен метод определения тепловых потоков на осаждаемую пленку. Разработана автоматизированная система оперативного контроля этого параметра. Дано описание алгоритмов программного обеспечения системы и аппаратной реализации.