Dispositif de support, procede de support, dispositif d'exposition et procede de production des dispositifs

L'invention concerne un dispositif de support comprenant un support (18) de reticule presentant une premiere partie d'aspiration (63) situee face a une zone d'assurance de precision (AR1) presentant une precision de surface specifiee de la surface inferieure (Ra) d'un reticule (R), une seconde partie d'aspiration (64) situee face a une zone de non assurance de precision (AR2) autre que la zone d'assurance de precision (AR1), un petit trou (70a) relie a un dispositif d'aspiration destine a aspirer le gaz situe dans l'espace entre la surface inferieure (Ra) du reticule (R) et la premiere partie d'aspiration (63), ainsi qu'un petit trou (70b) relie a un dispositif d'aspiration (72) et destine a aspirer le gaz situe dans un espace entre la surface inferieure (Ra) du reticule (R) et la seconde partie d'aspiration (64), de maniere que le reticule peut etre maintenu de maniere stable sans deterioration de la precision de surface de la zone d'assurance de precision.