Plateau de maintien à vide

L'invention concerne un plateau de maintien a vide qui comporte un motif fin estampe et dont la generation de poussiere est reduite, et qui presente une faible resistivite de surface et une forte resistance mecanique. Elle concerne specifiquement un plateau de maintien a vide (1) qui comprend une base en aluminium (2) et une partie d'aspiration conductrice (3). La partie d'aspiration (3) est formee a partir d'un polyimide conducteur, et le polyimide est lie a une surface (21a) de la base (2) avec une feuille de resine adhesive conductrice (4) intercalee entre eux. La surface et la partie peripherique exterieure de la partie d'aspiration (3) comportent une pluralite de parties estampees (30) et une partie de la paroi peripherique exterieure (33) dans le but d'y monter une plaquette (W). La base (2), la feuille de resine adhesive (4) et la partie d'aspiration (3) comportent un canal d'air (24) et des trous (25, 26) pour l'aspiration et la liberation. Une partie d'arbre (22) sur la base (2) est mecaniquement connectee a un moteur de sorte que le moteur fasse tourner la base (2).