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高誘電率(Hf-La-O)三元系酸化物における結晶化温度の増大とMOS特性の向上
高誘電率(Hf-La-O)三元系酸化物における結晶化温度の増大とMOS特性の向上
2006
yamamoto yosiki
kita hiroyuki
yumino kentarou
tyoukai mei
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