线偏振光和圆偏振光下ZrO 2 和Al 2 O 3 陶瓷材料的飞秒激光烧蚀性能

将不同脉冲数的飞秒激光作用于陶瓷材料表面，研究了线偏振和圆偏振激光对氧化锆和氧化铝陶瓷材料烧蚀阈值的影响，利用光学显微镜和扫描电子显微镜分析了烧蚀坑表面形貌，利用激光扫描共聚焦显微镜确定了烧蚀坑深度.结果表明：两种材料在线偏振光下的饱和烧蚀阈值均小于在圆偏振光下的值；当偏振态相同时，氧化锆饱和烧蚀阈值小于氧化铝.随脉冲数增加，线偏振和圆偏振光下氧化锆烧蚀坑表面结构均由无序向有序发展，出现了周期性环形波纹结构和纳米孔洞阵列.与线偏振光相比，圆偏振光对烧蚀坑深度的作用更明显，且烧蚀坑表面形貌对能量密度变化比较敏感，更容易产生周期性结构.