Návrh efuzní cely pro depozici ultratenkých vrstev Sn a Zn

Tato bakalařska prace se zabýva navrhem a sestavenim efuznich cel pro depozici ultra- tenkých vrstev zinku a cinu. V praci jsou uvodem vysvětleny principy funkce efuznich cel, jako je metoda molekularni svazkove epitaxe (MBE) a tvorba efuzniho toku. Dale je uve- dene shrnuti obecne konstrukce atomarnich zdrojů a resersni studie o růstu ultratenkých vrstev a nanostruktur zinku, cinu a jejich sloucenin. V prakticke casti byly vytvořeny dva navrhy efuznich cel s radiacnim ohřevem z karbidu křemiku a ohřevem pomoci dopadu elektronů. Přilohou prace je kompletni výkresova dokumentace navržených efuznich cel; This bachelor thesis deals with the design and the construction of effusion cells for the deposition of zinc and tin ultrathin layers. In the introductory part there is an explanation of principles of eusion cells' functions, like a molecular beam epitaxy (MBE) or a construction of the efussion ow. Furthermore, the work describes a general principles of a ccreation of the atom sources. Theoretical part ends with review about the growth of ultrathin layers and nanostructures of zinc, tin and their compounds. Experimental part provides a design of the effusion cells with radiation heating from silicon carbide and heating by electrons impact. The complete drawing documentation of the designed effusion cells is included in the attachment.