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Hochgeschwindigkeitsmikroskopie zur Qualitätskontrolle : Piezoantriebe im echtzeitfähigen Autofokus-System
Hochgeschwindigkeitsmikroskopie zur Qualitätskontrolle : Piezoantriebe im echtzeitfähigen Autofokus-System
2016
Friedrich Schenk
Steffen Arnold
Ellen-Christine Reiff
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