Caractérisation micromécanique de matériaux en couche mince destinés aux micro- et nano- technologies

Le developpement des micro- et nano- technologies est aujourd'hui dependant de la connaissance du comportement mecanique des couches minces constitutives de ces dispositifs. La caracterisation experimentale des materiaux est primordiale car les proprietes mecaniques se trouvent, a une telle echelle, fortement dependantes de l'historique de la couche et de sa microstructure. D'autre part, la mise en œuvre de ces couches minces est multiple. Cette these presente une approche transversale, s'articulant autour de techniques de nanoindentation, pour caracteriser des couches deposees sur substrat, et de traction uniaxiale applicable a des couches minces autoportantes d'epaisseur submicronique. Elle s'appuie notamment sur un concept de platine de microtraction nomade qui a ete ameliore et evalue a l'aide d'une mise en œuvre sur des eprouvettes en aluminium pulverise d'epaisseur variant entre 700nm et 1,5µm et des eprouvettes d'or electrolytique de 4µm d'epaisseur.