Systeme de distribution de liquide

La presente invention propose un systeme, un appareil et un procede destines a distribuer un liquide par l'intermediaire d'une boucle de distribution a des outils necessitant un tel liquide. En particulier, la presente invention propose un systeme, un appareil et un procede destines a proposer un liquide ou une boue a des outils de PMC (polissage mecanochimique) d'un procede de fabrication de semi-conducteur. Selon la presente invention, le liquide est distribue a des outils a debit et pression constants, en regulant le debit et la pression par l'utilisation de pompes combinees a capteurs de debit ou de pression dans la boucle de distribution.