Croissance et propriétés structurales de couches minces épitaxiales de Pb(ZrxTi1-x)O3 et d'hétéro-structures Pb(ZrxTi1-x)O3 -oxydes métalliques

Nous rapportons la croissance de structures epitaxiales composees de perovskites ferroelectriques du type Pb(Zr, Ti)O 3 (PZT) et de differents oxydes supraconducteurs ou apparentes aux supraconducteurs a haute temperature critique. Des couches epitaxiales de PZT ont ete obtenues par pulverisation cathodique hors-axe sur des substrats de SrTiO 3 de meme que des hetero-structures SrRUO 3 -PZT et DyBa 2 Cu 3 O 7 -PZT Les analyses des structures, par rayons-x, AFM et TEM, revelent des qualites structurales excellentes et un etat de surface remarquable pour le PZT, avec une rugosite moyenne de 2 A pour des surfaces de 1 μm x J μm et pour des films de 0. 1μm d'epaisseur deposes sur SrTiO 3 . Nous presentons egalement les resultats sur la croissance de ces oxydes sur silicium, obtenue grâce a l'utilisation d'une couche tampon de zircone stabilisee a l' yttrium. Les proprietes ferroelectriques mesurees de maniere standard donnent un champ coercitif de 70-100 kV/cm et une polarisation remanente de 10-20 μC/cm 2 .