The micromechanical scanning sensor

Mikromechanischer Abtastsensor (10), insbesondere fur ein Raster-Kraft-Mikroskop, mit einem Halteteil (11) und mit einem als Biegebalken ausgebildeten Sensorarm (12), der an einem ersten Ende (12a) mit dem Halteteil (11) verbunden ist, und mit einer Abtasteinheit (13), die mit einem zweiten Ende (12b) des Sensorarms (12) verbunden ist, wobei die Abtasteinheit (13) einen mit dem Sensorarm (12) verbundenen Basisteil (13a) bestehend aus einem ersten Material und einen mit dem Basisteil (13a) verbundenen Funktionsteil (13b) aufweist, der aus einem zweiten Material besteht, wobei der Funktionsteil (13b) einen flachenhaft ausgebildeten Befestigungsbereich (13c) zur Befestigung an dem Basisteil (13a) aufweist, dadurch gekennzeichnet, dass der Funktionsteil (13b) einen sich etwa senkrecht von dem flachenhaft ausgebildeten Befestigungsbereich (13c) weg erstreckenden Schaft aufweist, der an seinem von dem Befestigungsbereich (13c) abgewandten Ende einen seitlich uber den Schaft herausragende n oberen Abschnitt (13e) aufweist, und dass der seitlich uber den Schaft herausragende obere Abschnitt (13e) aus einem anderen Material...