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Cu相互接続のキャッピング層用の新しいCVD/原子層堆積前駆体「Rudense」からのRu薄膜の特性化
Cu相互接続のキャッピング層用の新しいCVD/原子層堆積前駆体「Rudense」からのRu薄膜の特性化
2015
Maniwa Atsushi
Chiba Hirokazu
Kawano Kazuhisa
Koiso Naoyuki
Oike Hiroyuki
Furukawa Taishi
Tada Kenichi
Keywords:
Medicinal chemistry
Chemistry
Inorganic chemistry
Environmental chemistry
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