단결정 냉각장치 및 이를 포함하는 단결정 성장장치

2010 
실시예는 단결정 냉각장치 및 이를 포함하는 단결정 성장장치에 관한 것이다. 실시예에 따른 단결정 냉각장치는 냉각부 본체; 상기 냉각부 본체의 내벽과 외벽에 냉각물질이 이동할 수 있는 통로; 및 상기 냉각부 본체의 내벽 표면에 복사열을 흡수하는 코팅층;을 포함하고, 상기 코팅층은 탄소나노튜브 코팅층일 수 있다.
    • Correction
    • Source
    • Cite
    • Save
    • Machine Reading By IdeaReader
    0
    References
    0
    Citations
    NaN
    KQI
    []