단결정 냉각장치 및 이를 포함하는 단결정 성장장치
2010
실시예는 단결정 냉각장치 및 이를 포함하는 단결정 성장장치에 관한 것이다. 실시예에 따른 단결정 냉각장치는 냉각부 본체; 상기 냉각부 본체의 내벽과 외벽에 냉각물질이 이동할 수 있는 통로; 및 상기 냉각부 본체의 내벽 표면에 복사열을 흡수하는 코팅층;을 포함하고, 상기 코팅층은 탄소나노튜브 코팅층일 수 있다.
- Correction
- Source
- Cite
- Save
- Machine Reading By IdeaReader
0
References
0
Citations
NaN
KQI